白光干涉儀優勢：
 

　　價格優勢：市場上性價比的白光干涉儀。
 

　　簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；
 

　　可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式技術，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
 

　　無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；
 

　　可視化3D功能：Xper WLI輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。
 

　　白光干涉儀應用領域：

 

　　納米尺度的厚度和輪廓檢測
 

　　WLI和PSI模式轉換
 

　　工業應用：樣品和輪廓檢測
 

　　樣品類型：半導體晶圓，納米器件，生物材料，MEMS:微電子機械系統，lED發光二極管